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技術文章 / ARTICLE
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2023-04-27
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光譜共焦位移傳感器LT-C400探頭
光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經薄膜上表面反射后得第一束光,折射光經薄膜下表面反射,又經上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側,由同一入射光振動分出,是相干光,屬分振幅干涉。當由一組波長組成的白光入射到薄膜上時,某些波長的光被增強,而某些波長的光則被減弱。通過對混合的兩個波前產生的光干涉條紋進行光譜分光,測算干涉信號的頻率光譜,
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HCI-500系列納米膜厚測量 光譜干涉傳感器
光譜干涉測量傳感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固體、液體或由兩塊玻璃所夾的氣體薄層。入射光經薄膜上表面反射后得第一束光,折射光經薄膜下表面反射,又經上表面折射后得第二束光,這兩束光在薄膜的同側,由同一入射光振動分出,是相干光,屬分振幅干涉。當由一組波長組成的白光入射到薄膜上時,某些波長的光被增強,而某些波長的光則被減弱。通過對混合的兩個波前產生的光干涉條紋進行光譜分光,測算干涉信號的頻率光譜,
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光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列
光譜共焦/同軸光位移傳感器LT-C系列
更小的測量盲區
更高精度的尺寸及位移復現能力
高靈敏度光學非接觸測量
多膜層/多層玻璃測厚能力
同軸式測量配置,避免了激光三角傳感器的角度限制,縮小測量盲區,
適合復雜細微結構(如深溝槽結構等)的測量。
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2023-04-26
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